静电是如何产生的原理_静电是如何产生的原理

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静电是如何产生的原理

静电是如何产生的原理静电卡盘顾名思义是利用静电吸附原理将待加工晶片吸附在其表面并且可以通过背吹气体来控制晶片表面温度的设备,静电卡盘的基本结构主要包括陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统、水冷基体等。与传统的机械卡盘和真空吸盘相比静电卡盘具有很多优点。在下游等会说。

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