机电设备技术_机电设备技术

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机电设备技术编辑/江畔雨落 微机电系统技术是一种将微小尺寸的机械元件、电子元件、传感器、执行器等集成在一起的技术领域，它结合了微纳尺度加工技术、电子器件制造工艺和机械系统设计，用于创造出微小的、具有机械和电子功能的设备和系统。 MEMS技术通常涵盖了微米到毫米尺度范后面会介绍。

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